 |
品番: 簡易図面をご利用の際はログインが必要となります。 簡易図面 |
仕様: XLD Series アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御·単動/ベローズシール·Oリングシール
●フッ素に強い
●アウトガスが少ない
●重金属汚染が少ない
●アウトガスが少ない
●重金属汚染が少ない
| フィールドの情報 | フィールドの値 | 値の情報 |
|---|---|---|
| フランジサイズ | 80 | 80 |
| フランジの種類 | - | KF(NW) |
| 操作ポート方向 | - | フランジ側 |
| 温度仕様/ヒータの有無 | - | 5～60℃、ヒータなし |
| オートスイッチの種類 | - | オートスイッチなし(内蔵磁石なし) |
| オートスイッチ数/取付位置 | - | 数量:オートスイッチなし;検出位置:- |
| ボディ表面処理 | - | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
| シール材質 | - | シール材質:FKM;配合NO.:1349-80 |
| シ－ル材質変更箇所とリーク量 | - | 変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa·m3/s以下 |
| オーダーメイド仕様 | - | 標準 |
