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技術資料/技術用語
|高真空機器-用語集1
[用語]ベーキング
活性化エネルギー(E)が小さく吸着時間(τ)の短い、酸素 窒素などは早く排気されますが、活性化エネルギーの大きい水の場合は排気が進まず、温度(絶対温度 T)を上げ吸着時間を短くして早く排気させます。Rがガス定数、τ0=(約)10-13secで、τ=τ0 exp(E/RT)となります。
例えば水の吸着時間は20°Cでは5.5×10-6secで、150℃では2.8×10-8secで約1/200になり、特に吸着時間の長い水を早く排気させる事が目的です。