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技術資料/技術用語
|高真空機器-用語集1
[用語]排気時間(低・中真空)
リークのない容積V(L)のチェンバを排気速度S(L/sec)のポンプで、圧力P1からP2へ排気する時間(Δt)は容積のみが排気負荷となり、Δt=2.3(V/S)log(P1/P2)となります。高真空の場合は表面層(ガス放出)からの排気負荷となり、チェンバの表面状態と表面積およびポンプの排気速度との勝負となります。