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技術資料/技術用語
|高真空機器-用語集1
[用語]到達圧力
ガス放出Qgとリーク量Q(L)の和をQ(Pa・m3/s)、排気速度S(m3/s)の場合の到達圧力P(Pa)は、P=Q/Sとなります。到達圧力は上記、Qg Q(L)Sの外にポンプ自身の到達圧力から定まり、圧力が低い場合は、ポンプ自身の排気特性が大きく左右します。ポンプ自身の汚れによる排気特性の低下、大気リークによる水の侵入は特に影響が大きくなります。