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技術資料/技術用語
|高真空機器-用語集1
[用語]分子流コンダクタンス
孔のコンダクタンス
極薄板にøA(c m2)の孔がある場合のコンダクタンス"C"は、Vを気体の平均速度 Rはガス定数 Mは分子量 Tを絶対温度とした場合C=VA/4=(RT/2πM)0.5Aとなり、20℃の空気の場合は、コンダクタンスC=11. 6A(L/sec)となります。
円筒のコンダクタンス
長さL(cm) 直径D(cm)でL≫Dの場合、C=(2πRT/M)0.5D3/6Lから、20℃の空気の場合は、コンダクタンス C=12.1 D3/L(L/sec)となります。
短い管のコンダクタンス
下図(クラウジング係数の図)のクラウジング係数Kと孔のコンダクタンスCから、短い管のコンダクタンスCKを簡易的に求めると、CK=KCとなります。
コンダクタンスの合成
それぞれのコンダクタンスをC1 C2・・・ Cnとした場合の合成コンダクタンスΣCは、
直列配管の場合 ΣC=1/(1/C1+1/C2+・・・ +1/Cn)
並列配管の場合 ΣC=C1+C2+・・・ +Cn
となります。