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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]SEMI規格
半導体、フラットパネルディスプレイ、ナノテクノロジー、MEMS、太陽光発電、その他関連技術の製造装置・材料・関連サービスを提供している企業の国際的な工業会(SEMI)が発行している自主基準。