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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]インボードリーク
製品内部の圧力が外部圧力より低い場合に起こる、製品外部から内部へのリーク量。測定は製品内部を真空にし、外部よりヘリウムガスを吹き付けて内部に侵入するヘリウムガスを検出する。測定方法はSEMI規格F1に準拠しております。