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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]SUS316Lダブルメルト
通常のSUS316Lに対して、材料に含まれる不純物成分を極限まで低下させた高品位な材料。
APTechの材料はSEMI規格F20のUHPグレードに準拠しております。