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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]ダイヤフラムバルブ
メタルダイヤフラムの上下動により流路の開閉を行うもので、ガスの遮断弁として使われます。
ダイヤフラムはドーム型で弾性があるため接ガス部にスプリングがなく、また駆動部もダイヤフラムにより接ガス部と隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルが発生しにくい構造となっています。