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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]高純度プロセスガス用
半導体産業などのように、非常に高い清浄度のガス供給が要求される用途向け。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用し、接ガス部の電解研磨処理や外部メタルシールなどの特長があります。