
サーモチラー/高機能タイプ HRZ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
マレーシア・日本のみ限定出荷品

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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水・脱イオン水(純水) |
ノンフロン(CO2冷媒)対応冷凍式サーモチラー HRZC
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温調機器 » フロン規制対応チラー
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・ノンフロン
・CO2冷媒(R744)対応
・GWPを大幅に削減
・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可
EU冷媒規制 :GWP150以上
米国冷媒規制 :GWP700以上
カリフォルニア州冷媒規制 :GWP750以上
※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。
・空輸可能
・フロン回収、廃棄コスト不要
・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
シリーズ | 設定温度範囲 | 冷却能力 | 温度安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZC | −20~90℃ | 2kW、4kW、8kW、10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液60% 脱イオン水(純水)・清水 |
低GWP冷媒対応冷凍式サーモチラー HRZF
温調機器 » フロン規制対応チラー-
・低GWP冷媒対応
GWP:146※ ※Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基準
EU冷媒規制:GWP 150以上
米国冷媒規制:GWP 700以上
カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上
・環境対応冷媒R454C (空輸不可)
・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
シリーズ | 設定温度範囲 | 冷却能力 | 温度安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZF010 | -20〜90℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール60%水溶液 |