
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
| XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
| XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
| XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
| XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
| XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
アルミ製高真空L型バルブ XL□
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・フッ素に強い。
・アウトガスが少ない。
・重金属汚染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100・160 |
| XLAV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100・160 |
| XLC | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100・160 |
| XLCV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100・160 |
| XLF | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | (80)・100・160 |
| XLFV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | (80)・100・160 |
| XLG | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 100・160 |
| XLGV(電磁弁付) | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 100・160 |
| XLD | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
| XLDV(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25~160 |
| XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~50 |
| XLS | 電磁式 | 単動 (N.C.) | (ベローズバランス) | エア不要 可搬装置用 | 16,25 |














































