10-6 Paの高真空で使用可能。
真空チャンバの排気系、供給系、仕切系で使用のバルブ。
排気系
| ・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series |
| ・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series |
| ・ステンレス製高真空L 型／ストレート型バルブ | XM/XY Series |
供給系
| ・高真空ストレート電磁弁 | XSA Series |
| ・スムーズべントバルブ | XVD Series |
仕切系
| ・300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ | XGTP Series |
| ・スリットバルブ | XGT Series |
| ・ドアバルブ（オーダーメイド） | ※詳細はお問合せください。 |
駆動系
| ・真空ロッドレスシリンダ | CYV Series |
