アルミ製高真空L型バルブ
XLA/C-100・160(-1)-X152
2018/9
- ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
- 寿命:200万回
- 装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
- 軽量・コンパクト
製品特長
■ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
■寿命:200万回※
※当社試験による耐久回数となります。詳細は取扱説明書をご確認ください。
■装置の省スペース化が可能
■軽量・コンパクト
小さなボディで大きなコンダクタンス。
フッ素に対する耐食性に優れています。(ボディ)
■バリエーション