コントローラ分離型
イオナイザ/バータイプ
IZT40/41/42 Series
2019/12
- 省エネ高効率カートリッジ追加 [New]
- コントローラと高電圧電源モジュールの分離が可能
- 省スペース:高さ37mm×幅30mm
- 1台のコントローラで最大4台のバー接続が可能
- 電位振幅:25V以下
- 高速除電:最速0.1S
製品特長
■省スペース:高さ37mm× 幅30mm
■小型の筺体が省スペース化を実現
高さ:57mm 削減(60%)
狭小スペースでの設置が可能
■デュアル AC 方式タイプ IZT42 Series( 電位振幅低減仕様)
SMC 独自のデュアルAC 方式により、電位振幅を低減。
静電気に敏感なデバイス等でも静電気放電(ESD)破壊を考慮した除電が可能。
近距離設置でも対象ワークに加わる電位振幅を低減。
デュアルAC 方式 IZT42
+イオンと−イオンを同時に放出し、+−が均一にワークに到達するため電位振幅が小さくなる。
AC 方式 IZT40/IZT41
+イオンと−イオンが帯になって、交互にワークに到達するため電位振幅が大きくなる。
ガラス基板の除電
定盤からのピックアップ時、剥離帯電による静電破壊を防止
電気基板の除電
・放電による素子破損の防止
・埃の付着防止
■常時エミッタ汚れ検知表示および出力
■外部入力信号による個別ON/OFF指令
オートバランス機能付(イオナイザ本体に内蔵、設置場所を選びません。)
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監視し、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定内に維持するよう制御。
■AC 方式タイプ IZT41 Series
オートバランス機能付
■スタンダードタイプ IZT40 Series
シンプル操作、電源投入するだけで使用可能
AC アダプタを用意
(AC アダプタはバー1 台時の場合のみにご使用いただけます)
■1台のコントローラで最大4台のバー接続が可能
■モジュールの多彩な接続方法により自由なレイアウトが可能
■各モジュールをコネクタ接続することにより設置が容易
モジュールごとに設置後、ケーブルをコネクタ接続可能
■片側エア配管でエア供給が可能
配管径の最適設計で片側配管でも十分なブロー性能維持実現
エア供給口の選択が可能:右側/左側/両側
バー/ケーブル長さの選択が可能
■安全機能
エミッタカートリッジ落下防止機能
ダブルアクションロック
落下防止カバー
エミッタカートリッジのより確実な落下防止が可能
■使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能
エミッタ周囲より圧縮空気を出すことでエミッタの汚れを低減
2種類のエミッタ材質
タングステン/単結晶シリコン(シリコンウエハ用)
3種類のエミッタカートリッジ
■機種別 機能一覧
■付属品(個別手配用)
■用途例
▲ページ上部へ