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仕様: XMD Series ステンレス製 高真空L型バルブ 二段制御·単動/ベローズシール·Oリングシール
●ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
●アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
注)ストレート型にサイズ16はありません
●アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
注)ストレート型にサイズ16はありません
フィールドの情報 | フィールドの値 | 値の情報 |
---|---|---|
フランジサイズ | 63 | 63,CF114 |
フランジの種類 | D | K(DN) |
操作ポート方向 | - | フランジ側 |
温度仕様 | H0 | 5~150℃ |
オートスイッチの種類 | - | オートスイッチなし(内蔵磁石なし) |
オートスイッチ数/取付位置 | - | 数量:オートスイッチなし;検出位置:- |
シール材質 | XR1 | シール材質:Chemraz;配合NO.:SS592 |
シ-ル材質変更箇所とリーク量 | A | 変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質 SUS304+シール材)、固定用Oリング;リーク量:内部:1.3x10^-8Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa·m3/s以下 |
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