![]() |
品番: 簡易図面をご利用の際はログインが必要となります。 簡易図面 |
仕様: XLA-2 Series アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール
●アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量·コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
●ベローズ交換が可能
均一なベーキング温度
軽量·コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
●ベローズ交換が可能
フィールドの情報 | フィールドの値 | 値の情報 |
---|---|---|
フランジサイズ | 25 | 25 |
フランジの種類 | - | KF(NW) |
インジケータおよび操作ポート方向 | - | インジケータなし、フランジ側 |
温度仕様/ヒータの有無 | - | 5~60℃、ヒータなし |
オートスイッチの種類 | M9N | 無接点オートスイッチ, グロメット, ランプ付, 3線式(NPN), 横取出, リード線0.5m, 適用電圧:DC5V,12V,24V(DC4.5~28V) |
オートスイッチ数/取付位置 | A | 数量:2ケ付;検出位置:弁開閉 |
ボディ表面処理 | - | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
シール材質 | XN1 | シール材質:EPDM;配合NO.:2101-80 |
シ-ル材質変更箇所とリーク量 | A | 変更箇所:バルブシール1(保守部品)、バルブシール2(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa·m3/s以下(シール材質がF1の場合、リーク量:内部:1.3x10^-10Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-11Pa·m3/s以下) |