●半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応
●ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用
●接ガス部電解研磨処理
●外部メタルシール構造

フィールドの情報	フィールドの値	値の情報
設定圧力	15	5～150 psig / 0.034～1.0 MPa
材質	S	ボディ:SUS316、ポペット:SUS316、ダイヤフラム:SUS316
内面粗さ	-	10 μin./ 0.25 μm 標準
ポート位置	3PW	3ポート
配管接続方式(入口側①)	MV6	3/8フェースシール継手 オス
配管接続方式(出口側②)	MV6	3/8フェースシール継手 オス
ゲージポート(入口側③)	-	ゲージポートなし
ゲージポート(出口側④)	H	圧力計:-0.1～1.1MPa / -30 In.Hg～160 psig(減圧弁の最大設定圧力より高いレンジの圧力計をご利用ください)
圧力計表示	MPA	MPa
シート材質	-	PCTFE、標準
オプション	-	標準
ボンネットオプション	-	標準