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非接触搬送
凹凸や表面に粘性のあるワーク(太陽電池セル)の
吸着搬送が可能。
・非接触チャック | XT661 |
動作原理
供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。(サイクロン効果)
供給エアは吸着面とワークの間から、大気に放出されます。その結果、サイクロンパッドとワークの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。
薄膜用基板の「振動」「たわみ」を防止。
・エア浮上レール(オーダーメイド) | ※詳細はお問合せください。 |