真空用機器
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2色表示式デジタルフロースイッチ PFM
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサノングリース 窒素（N2）対応機器 » フロースイッチ
| シリーズ | 定格流量範囲（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）はCO2の場合 |
フローセンサ PFMV5/PFGV301
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・微小ワークの吸着確認。
・繰返し精度±2％F.S.
・応答速度5ms以下、耐圧500kPa
・ノングリース、RoHS対応。
・電圧モニタ 一つで全レンジ対応。
・関連機器：サクションフィルタ ZFC050シリーズ
| シリーズ | 定格流量範囲（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0.0～0.1 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
