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圧縮空気清浄化機器

|低露点クリーンエア(クリーンルーム用エア)

■用途例

・クリーンルーム内での半導体部品のブロー

■清浄化システム


シリーズ名をクリックすると詳細ページが表示されます。

AT,HAA/HAW:エアコンプレッサに取付いている場合は不要。
AT:スクリューコンプレッサの場合、蓄圧を目的とする場合は必要。


■圧縮空気中の不純物
水分 ろ過度 オイルミスト
濃度注1)
オイル
臭気
システムとしての
品質等級注2)
露点 含有水分量
大気圧露点:-30~-60℃
圧力露点:-6~-42℃(0.7MPa時)
0.5g~0.02g/㎥(ANR) 0.01μm
(捕集効率99.99%)
Max.0.004mg/㎥
(ANR)
0.0032ppm
1,1,1注3)
1,2,1
1,3,1

注1)入口側のオイルミスト濃度(コンプレッサ吐出濃度)が約30mg/m3(ANR)以下の場合。
注2)ISO8573-1:2010(JIS B8392-1:2012)による圧縮空気品質等級を示し(上記参照)、そのシステムで得られる最高品質等級を表記しています。ただし、入口空気条件により異なります。
注3)特注対応可能(使用条件による)ですのでお問合せください。




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