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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]ベルジャ法
リーク試験方法の一種で、ヘリウムを封入した試験体をベルジャ(真空容器)内に入れて、ベルジャ内をリークディテクタに接続し、試験体からベルジャ内に漏れ出るヘリウムを検出する方法。