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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]アウトボードリーク
製品内部の圧力が外部圧力より高い場合に起こる、製品内部から外部へのリーク量。測定は製品内部にヘリウムガスを充填し、外部に漏洩するヘリウムガスを検出する。測定方法はSEMI規格F1に準拠しております。なおカタログに記載されるアウトボードリークの値は、ベルジャ法にて測定したときの値となります。