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技術資料/技術用語
|プロセスガス用機器-用語集1
[用語]バキュームジェネレータ
ガスをノズルから高速で噴射することによりノズル周辺の流体が吸引されて圧力が低下する現象を利用して真空を発生させる機器。
ガスボンベ交換の際、配管中に残った不要なガスの排出などに利用されます。
AP71,AP72シリーズはバルブとチェック弁の機能を搭載したモジュールタイプとなっています。