プロセスガス用機器
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AZ
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AZ | エアオペレートタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | マニュアルタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
製品特長
■エアオペレートタイプ、マニュアルタイプを用意
■精密洗浄およびクリーンルーム組立、全品ヘリウムリーク検査済
エアオペレートタイプ AZ3542,4542 Series
アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現
操作ポートM5ねじ
マニュアルタイプ AZ3652,4652 Series
アハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現
ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ。指にフィットしやすい丸ハンドルに“ツマミ”を設けたデザイン。
ツマミ、丸ハンドルどちらからも開閉操作が可能。
■ボディ材質SUS316Lを使用
内部には電解研磨および不動態化処理を実施。
■作業者に優しい鍛造ボディ
角部は丸味を帯びた形状のため、安全性、作業性に優れています。
■SEMI規格準拠
取付ねじ、取付寸法、面間寸法の互換があります。
（SEMI F36ガス分配部品の寸法と接続に関するガイド）
■ポート仕様
■配管サイズバリエーション
■バリエーション
