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プロセスガス用機器

ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
  • ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
    取扱説明書
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シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
APエアオペレートタイプSUS316L
ダブルメルト
フェースシール継手
チューブ溶接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
APマニュアルタイプSUS316L
ダブルメルト
フェースシール継手
チューブ溶接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''

製品特長

■減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。

■減圧弁(圧力調整器)/背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series

半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能

■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。

■チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチ AP Series

チェック弁

背圧による流体の逆流を防止。内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。スプリングレス構造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。

バキュームジェネレータ

真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。

フロースイッチ

配管の破断等による過剰流量の検出

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