プロセスガス用機器
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP
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［チェック弁］
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
・配管の破断等による過剰流量の検出。
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | バキュームジェネレータ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/2''，3/4'' |
製品特長
■減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。
■減圧弁（圧力調整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series
半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能
■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
■チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series
チェック弁
背圧による流体の逆流を防止。内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。スプリングレス構造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
バキュームジェネレータ
真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
フロースイッチ
配管の破断等による過剰流量の検出
