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|プロセスガス用機器-用語集1

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[用語]バルブガス用

[用語]負圧調整用

[用語]減圧弁

[用語]一段式と二段式

[用語]タイドダイヤフラム構造

[用語]スプリングレス構造

[用語]背圧弁

[用語]ダイヤフラムバルブ

[用語]LOTO

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[用語]チェック弁

[用語]バキュームジェネレータ

[用語]ブリード機能

[用語]フロースイッチ

[用語]SUS316

[用語]SUS316L

[用語]SUS316Lダブルメルト

[用語]ハステロイ®

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[用語]PCTFE

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[用語]電解研磨

[用語]不動態化処理

[用語]フェースシール継手

[用語]チューブ溶接

[用語]コンプレッション継手

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[用語]内面粗さ Ra

[用語]Cv値

[用語]クラッキング圧力

[用語]最高真空圧力

[用語]slpm

[用語]圧力特性

[用語]インボードリーク

[用語]アウトボードリーク

[用語]内部リーク

[用語]ベルジャ法

[用語]SEMI規格