|低露点的洁净空气（洁净室用空气）
■用途示例
・洁净室内的半导体零部件吹气
■净化系统
点击系列名可查看详细信息。
AT,HAA/HAW：安装于空气压缩机时不需要。
AT：使用螺杆式空气压缩机蓄压时需要。
■压缩空气中的不纯物 
| 水分 | 过滤精度 | 油雾浓度注1) | 油臭气 | 系统的品质等级注2) | |
|---|---|---|---|---|---|
| 露点 | 含有水分量 | ||||
| 大气压露点：-30～-60℃ 压力露点：-6～-42℃（0.7MPa时） |
0.5g～0.02g/㎥(ANR) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
Max.0.004mg/㎥ (ANR) 0.0032ppm |
无 | 1,1,1注3) 1,2,1 1,3,1 |
注1）入口侧的油雾浓度（压缩及输出浓度）约30mg/m3以下的场合。
注2）根据ISO8573-1：2010（JIS B8392-1：2012）的压缩空气品质等级（参考上表），它是系统可得到的最高品质等级。实际会因入口空气条件而不同。
注3）因为可以定制（根据使用条件），请咨询。
