真空用元件 » 真空系统用相关元件 - 从系统图中选择 » 流量开关
2色显示式数字式流量开关 PFM
传感器/开关 » 电子式流量开关/传感器
| 系列 | 额定流量范围（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）为CO2的场合 |
真空用元件
| 系列 | 额定流量范围（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）为CO2的场合 |