圧縮空気清浄化フィルタ
ラインフィルタ AFF
ミストセパレータ AM
マイクロミストセパレータ AMD
活性炭フィルタ AMK
| 種類 | シリーズ | ろ過度（μm） | 出口側 オイルミスト濃度 | 定格流量 （L/min［ANR］） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|---|---|
| ラインフィルタ | AFF | 1.0（捕集効率99%） | - | 300～3700 | 1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 |
| ミストセパレータ | AM | 0.1（捕集効率99%） | 1（≒0.8ppm）以下 | 300～3700 | 1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 |
| マイクロミストセパレータ | AMD | 0.01（捕集効率99.9%） | 0.1（≒0.08ppm）以下 | 300～3700 | 1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 |
| 活性炭フィルタ | AMK | - | 0.003（≒0.0025ppm）以下 | 300～3700 | 1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 |
メインラインフィルタ AFF
ミストセパレータ AM
マイクロミストセパレータ AMD
-
・圧縮空気清浄等級：ISO8573
・圧力降下低減による処理空気量UPで省エネに貢献
処理空気量：14.5m3/min（ANR） 従来品比最大20％向上
圧力降下：5kPa以下
・軽量：最大52％削減(10.5kg→5.0kg)
薄肉ステンレスケース採用により、軽量化を実現。
・省スペース・工数削減
メインラインフィルタ AFF Seriesは、1台で水滴・固形物を除去。
水滴除去フィルタ（ウォータセパレータ AMGシリーズ）の
設置が不要になり、省スペースかつ配管工数削減が可能。
・エレメント交換時の作業性向上
ケースの落下を防止するストッパ機能
| 種類 | シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 （m3/min［ANR］） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|---|
| メインラインフィルタ | AFF | 1.0（捕集効率99%） | 7～14.5 | 1, 1 1/2, 2 |
| ミストセパレータ | AM | 0.1（捕集効率99%） | 7～14.5 | 1, 1 1/2, 2 |
| マイクロミストセパレータ | AMD | 0.01（捕集効率99.9%） | 7～14.5 | 1, 1 1/2, 2 |
ウォータセパレータ AMG
| シリーズ | 処理空気量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|
| AMG | 300～12000 | 1/8～2 |
メインラインフィルタ AFF
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AFF | 3（捕集効率99％） | 300～45000 | 1/8～4Bフランジ |
ミストセパレータ AM
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AM | 0.3（捕集効率99.9％） | 300～12000 | 1/8～2 |
マイクロミストセパレータ AMD
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AMD | 0.01（捕集効率99.9％） | 200～40000 | 1/8～150(6B)フランジ |
プリフィルタ付マイクロミストセパレータ AMH
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AMH | 0.01（捕集効率99.9％） | 200～12000 | 1/8～2 |
スーパーミストセパレータ AME
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AME | 0.01（捕集効率99.9％） | 200～12000 | 1/8～2 |
オーダリムーバルフィルタ AMF
| シリーズ | ろ過度（μm） | 定格流量 L/min（ANR） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| AMF | 0.01（捕集効率99.9％） | 200～12000 | 1/8～2 |
インラインエアフィルタ ZFC
-
・使用圧力範囲：－100kPa～1.0MPa
1台で正圧・真空圧の使用が可能。
・回り止め機構採用
正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。
・2種の透明ケース材質を用意
ポリカーボネート（標準）、ナイロン（オーダーメイド）
注1）供給圧力0.7MPa、差圧30kPa
注2）オーダーメイド
| シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量 L/min（ANR）注1） 正圧 | 流量 L/min（ANR） 真空圧 | ろ過度(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC1□ | φ2, φ3.2 | φ1/8'' | 15/45 | 2/5 | 5，10注2） |
| ZFC3□ | φ3.2, φ4 | φ1/8'', φ5/32'' | 50/80 | 7/10 | 5，10注2） |
| ZFC5□ | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5，10注2） |
| ZFC7□ | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5，10注2） |
クリーンガスフィルタ SF
-
・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300，SFB100)
・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300，SFC100)
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100・200・300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
-
・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）
・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
| シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) （一次圧0.7MPa時） | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD110 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD200 | カートリッジ型 （エレメント交換可） | ～500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
モジュラ接続タイプ抗菌・脱臭・除菌フィルタ HF2-BF□
-
・FDA/食品衛生法適合材料
・NSF-H1グレード食品用グリース
・外装抗菌
・HACCP等衛生管理に貢献
・FSSC22000認証取得に貢献
・抗菌フィルタ：抗菌活性値 4以上
・除菌フィルタ：細菌捕捉性能 LRV≧9
・脱臭フィルタ：二次側油分濃度 0.003mg/m3以下
| 種類 | シリーズ | ろ過度（μm） | 管接続口径 |
|---|---|---|---|
| 抗菌フィルタ | HF2-BFA | 5 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 抗菌フィルタ | HF2-BFB | 0.1 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 脱臭フィルタ | HF2-BFC | - | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 除菌フィルタ | HF2-BFD | 0.01 | 1/4, 3/8, 1/2 |
除菌フィルタ 中空糸エレメント HF2B-SFDA
-
・細菌捕捉性能：LRV≧9
FDA／食品衛生法適合材料※を使用
※接流体部：樹脂・ゴム
ノングリース
「HACCP」「FSSC22000」認証取得に貢献！
・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99%）
・初期圧力降下：0.03MPa（入口圧0.7MPa、最大流量時）
・流量：500L/min（ANR）
| シリーズ | 種類 | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| HF2B-SFDA | 除菌フィルタ （除菌性能 LRV≧9） | MAX.1.0MPa （窒素の場合は0.99MPa） | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
クリーンエアモジュール LLB
-
・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
| シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
エアブローモジュール LLB1
-
・配管工数削減／省スペース。
・各機器をコンパクトに一体化。
・短ピッチ取付可能。
圧力の集中管理がコンパクトに実現。
・接流体部：ノングリース。
| シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB1 | エア、N2ガス | 0.05～0.6MPa 0.05～0.35MPa | ～100 |
