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大気開放弁付真空バルブ
XLJ Series
2019/5
チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
大気開放弁一体構造による配管工数削減
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製品特長
■チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
■大気開放弁一体構造による配管工数削減
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