300mmウエハ対応
平行シール型スリットバルブ
XGTP Series
2018/1
- 長寿命:300万回(常温時)
- 発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
- メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) - 安全対策
メカ式エンドロック機構採用
製品特長
■長寿命:300 万回(常温時) 発塵量:1/5 以下に低減(従来品比)
■平行シール構造採用により低発塵、長寿命化
ゲート上昇・下降の直線動作とゲート開閉のクランプを平行にシールする構造。
■メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
■関連機器