フットプリント最大85%削減、質量最大65%削減
フットプリント最大85%削減 ※一般的な配管材による構成との比較(10連時)施工工数最大45%削減 ※従来の個別配管作業との比較(10連時)
●一体型
●分離型
ファイバレーザー発振器の冷却
半導体製造装置(チャンバの温調)