ISOクラス6の上限値 ISOクラス4の上限値 ISOクラス5の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：10L/min 吸引流量：30L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス6の上限値 ISOクラス4の上限値 ISOクラス5の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：20L/min 吸引流量：30L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス6の上限値 ISOクラス4の上限値 ISOクラス5の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：20L/min 吸引流量：30L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス6の上限値 吸引流量：50L/min ISOクラス4の上限値 吸引流量：0L/min ISOクラス5の上限値 吸引流量：40L/min 吸引流量：20L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ 11-LEFS16　速度500mm/s 11-LEFS25　速度500mm/s 11-LEFS32　速度500mm/s 11-LEFS40　速度500mm/s 発塵特性 ステップモータ（サーボDC24V）、サーボモータ（DC24V） 34 発塵特性 11-LEFS Series クリーン仕様 機種選定方法製品個別 注意事項 LEFG LECS□ LEFS LECA6 LECPA LECP1 LEC-G LECPMJ LECP6 LEFB ステップモータ（サーボ DC 24V）／サーボモータ（DC 24V） LEFB LEFS ACサーボモータ A