116 発塵特性 11-LEFS Series クリーン仕様 ISOクラス6（クラス1000）の上限値 ISOクラス4（クラス10） の上限値 ISOクラス5（クラス100） の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：30L/min 吸引流量：50L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス6（クラス1000）の上限値 ISOクラス5（クラス100） の上限値 ISOクラス4（クラス10）の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：60L/min 吸引流量：30L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス6（クラス1000）の上限値 ISOクラス4（クラス10） の上限値 吸引流量：0L/min 吸引流量：100L/min 吸引流量：80L/min 吸引流量：50L/min 粒径［μm］ 1 10 10,000,000 1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス5 （クラス100） の上限値 発塵特性 ACサーボモータ（100W/200W/400W） 11-LEFS25　速度900mm/s 11-LEFS32　速度1000mm/s 11-LEFS40　速度1000mm/s 機種選定方法製品個別 注意事項 LEFG LECS□ LEFS LECA6 LECPA LECP1 LEC-G LECPMJ LECP6 LEFB ステップモータ（サーボ DC 24V）／サーボモータ（DC 24V） LEFB LEFS ACサーボモータ