115 清浄化システム クリーン ガスフィルタ 供給量 28.3L/min バキューム ポートにて真空掃引 レーザダスト モニタ （吸入量 28.3L/min） 発塵量測定回路 クリーンベンチ（ISOクラス5相当） 発塵測定方法 SMCクリーンシリーズの発塵データは以下の試験方法で測定しています。 ■測定条件 ■試験方法（例） アクリル樹脂製チャンバ内に試験体を設置し、計測器の吸入量（28.3L/min）と同一流量のクリーンエアを供給しながら試験体 を作動させ、所定作動回数までの粒子濃度の経時的変化を測定します。 チャンバはISOクラス5相当のクリーンベンチ内に設置しています。 ■評価方法 粒子濃度の測定値は、レーザダストモニタが5分間毎に捕捉した微粒子の累積値注1）を1m3当たりの粒子濃度に換算して示しま す。 そして、発塵量は各試験体を所定回数注2）まで作動させた際の平均粒子濃度（平均値）の95％上側信頼限界値を考慮して区分し ています。 グラフ内のプロットは、横軸で示す粒径以上の平均粒子濃度の95％上側信頼限界値を表わします。 注1）サンプリング空気量：141.5L当たりの空気中に含まれる粒子数 注2）アクチュエータ　　：100万回往復動作 電動アクチュエータ／スライダタイプ ボールねじ駆動／11-LEFS Series 発塵特性 ACサーボモータ クリーン仕様 チャンバ 内容積28.3L 供給エアの質駆動用供給エアと同質 使用計測器 名　称レーザダストモニタ（光散乱式自動粒子計数器） 最小可測粒径0.1μm 吸入量28.3L/min 設定条件 サンプリング時間5min インターバル時間55min サンプリング空気量141.5L