シリーズ	型式	名称	ダウンロード
ZP3P	ZP3P	真空パッド/パッド単体
ZP3P	ZP3P_T	真空パッド/縦方向真空取出形アダプタ付
ZP3P	ZP3P_T_B	真空パッド/縦方向真空取出形バッファ付