2D/3 DCAD
シリーズ
型式
名称
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ZP2
ZP2_H
吸着跡対策 真空パッド/H 高荷重形 (フッ素樹脂焼付パッド)
ZP2
ZP2_U
吸着跡対策 真空パッド/U 平形 (吸着跡対策NBR(ハロゲン化処理)パッド)
ZP2
ZP2_K
吸着跡対策 真空パッド/ベロウ形 (樹脂アタッチメント)