| シリーズ | 型式 | 名称 | ダウンロード |
|---|---|---|---|
| ZP2 | ZP2_J | 2.5段/3.5段ベロウパッド |  |
| ZP2 | ZP2_ZJ | 4.5段ベロウパッド/パッド単体 | |
| ZP2 | ZP2_ZJ | 4.5段ベロウパッド/縦方向真空取出形アダプタ付 | |
| シリーズ | 型式 | 名称 | ダウンロード |
|---|---|---|---|
| ZP2 | ZP2_J | 2.5段/3.5段ベロウパッド | |
| ZP2 | ZP2_ZJ | 4.5段ベロウパッド/パッド単体 | |
| ZP2 | ZP2_ZJ | 4.5段ベロウパッド/縦方向真空取出形アダプタ付 | |