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ZR Series 大型真空ユニット エジェクタシステム エジェクタユニット フィルタユニット
コンフィグレータオプション
エジェクタユニットノズル径(mm)
1
最高真空圧力
2
エジェクタ排気形式
3
スイッチ/フィルタ組合わせ
4
オプション
5
CE対応
6
-- 未選定 -- 選定済 -- エラー