XLH Series アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール
コンフィグレータオプション
リセット
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フランジサイズ
-- --お選びください-- --
16(16)
25(25)
40(40)
50(50)
1
ヒータの有無
-- --お選びください-- --
-(-)
H4(100℃用ヒータ付)
H5(120℃用ヒータ付)
2
ボディ表面処理
-- --お選びください-- --
-(外部:硬質アルマイト、内部:素地)
XA(外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト)
3
シール材質
-- --お選びください-- --
-(シール材質:FKM;配合NO.:1349-80)
P1(シール材質:Barrel Perfluoro;配合NO.:70W)
Q1(シール材質:Kalrez;配合NO.:4079)
R1(シール材質:Chemraz;配合NO.:SS592)
R2(シール材質:Chemraz;配合NO.:SS630)
R3(シール材質:Chemraz;配合NO.:SSE38)
S1(シール材質:VMQ;配合NO.:1232-70)
T1(シール材質:FKM For Plasma;配合NO.:3310-75)
U1(シール材質:ULTIC ARMOR;配合NO.:UA4640)
XF1(シール材質:FKM;配合NO.:-)
XN1(シール材質:EPDM;配合NO.:2101-80)
XP1(シール材質:Barrel Perfluoro;配合NO.:70W)
XQ1(シール材質:Kalrez;配合NO.:4079)
XR1(シール材質:Chemraz;配合NO.:SS592)
XR2(シール材質:Chemraz;配合NO.:SS630)
XR3(シール材質:Chemraz;配合NO.:SSE38)
XS1(シール材質:VMQ;配合NO.:1232-70)
XT1(シール材質:FKM For Plasma;配合NO.:3310-75)
XU1(シール材質:ULTIC ARMOR;配合NO.:UA4640)
F1(シール材質:FKM;配合NO.:-)
N1(シール材質:EPDM;配合NO.:2101-80)
4
シ－ル材質変更箇所とリーク量
-- --お選びください-- --
-(変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa·m3/s以下)
A(変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa·m3/s以下(シール材質がF1の場合、リーク量:内部:1.3x10^-10Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-11Pa·m3/s以下))
B(変更箇所:バルブシール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa·m3/s以下)
C(変更箇所:外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa·m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa·m3/s以下)
5
-- 未選定
-- 選定済
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