XGT Series スリットバルブ
コンフィグレータオプション
リセット
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バルブサイズ
-- --お選びください-- --
22(軸数:2軸 ベローズ;対応ウエハサイズ:200mm)
31(軸数:1軸 ベローズ;対応ウエハサイズ:300mm)
1
バルブ形式
-- --お選びください-- --
1(カセットなし)
2(カセット式スタンダード)
3(カセット式ハーフメスク)
4(カセット式フルメスク)
2
開口窓寸法
-- --お選びください-- --
32222(高さX幅:32X222mm;対応ウエハサイズ:200mm)
46236(高さX幅:46X236mm;対応ウエハサイズ:200mm)
50336(高さX幅:50X336mm;対応ウエハサイズ:300mm)
3
ゲートOリング材質
-- --お選びください-- --
1(FKM)
2(Kalrez 4079)
F1(FKM)
F2(Kalrez 4079)
4
オートスイッチおよびコネクタ
-- --お選びください-- --
-(オートスイッチ:なし;コネクタ:-)
A(オートスイッチ:D-A93(開閉2ヶ付);コネクタ:リード線:0.5m(コネクタなし))
C(オートスイッチ:D-A93(開閉2ヶ付);コネクタ:マルチコネクタ付(T3106 000:AMP製))
F(オートスイッチ:D-A93(開閉2ヶ付);コネクタ:Dサブコネクタ付(CDE-9PF05:ヒロセ電機製))
5
-- 未選定
-- 選定済
-- エラー
