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技術資料/技術用語
|高真空機器-用語集1
[用語]シール材
[用語]軸シール方法
[用語]応答時間・作動時間
[用語]分子流コンダクタンス
[用語]ガス放出
[用語]到達圧力
[用語]排気時間(低・中真空)
[用語]ベーキング
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[用語]ベーキング