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真空系统的相关元件

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吸板 SP

    ・用作薄片、玻璃基板、柔软工件等的吸附固定。
     通过分布于吸板吸附面上的大量小孔吸附工件,工件不会产生变形。
    ・加工精度高。
    ・吸附力大。
系列外形吸附部尺寸烧结金属滤芯粒径吸附口
SP长方形、正方形□50×50mm 、□100×100mm、□150×150mm
□200×200mm、□250×250mm、□300×300mm
φ0.3(球体)1/8

真空用自由安装型气缸 ZCUK

    ・紧凑且安装精度高的方形小型气缸CU系列中设置了真空通路。
     真空吸盘设置在活塞杆上,安装容易且节省空间。
    ・可安装标准真空吸盘(ø2~ø50)。
系列缸筒内径
(mm)
真空吸盘直径行程
(mm)
ZCUK10,16,20,25,30φ2~φ505~50

真空用过滤器 AFJ

    ・保护真空元件。
    ・过滤精度:5,40,80μm。
    ・大流量:max.660L/min(ANR)。
    ・滤芯可在洗净后重复使用。
    ・可去除水滴。
    ・透明杯体保护罩将杯体完全包覆。
系列连接口径推荐流量L/min
(ANR)
过滤精度[μm]
AFJ1/8,1/4,3/8,1/2180,380,6605,40,80

真空用冷凝水分离器 AMJ

    ・去除真空管路中的水滴
     防止真空元件出现故障
    ・质量:最多减小18%(AMJ40:0.43kg←AMJ4000:0.6kg)
    ・水滴去除率:90%以上
    ・采用2层构造,耐环境性优秀
     杯体外周安有透明保护罩
     可视性好 : 360°
系列连接口径推荐流量L/min
(ANR)
使用压力范围水滴去除率
AMJ1/4,3/8,1/2,3/4,1200,350,500−100〜0kPa90%

真空泵用排气洁净器 AMV

    ・吸收真空泵排出油烟的99.5%。
    ・实现无油烟的洁净作业环境。
    ・即使是小流量高浓度的油烟也能吸收分离99.5%。
    ・不需要真空泵有排气导管。
系列连接口径最大出力流量
(【L/min(ANR)】
油雾分解率过滤精度
AMV1,11/2,2,3BJIS 10K FF法兰
4BJIS 10K FF法兰
360~1600099.5%以上0.3μm
(吸收效率95%)

真空系统用相关元件 

    ・方向控制元件
    ・真空用压力开关
    ・真空用压力计
    ・流量控制元件
    ・订制规格

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