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平稳排气阀 XVD

高真空元件 » 高真空阀
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 高真空阀
    ・阀与针阀一体化,配管空间为原来的1/4。
    ・密封部采用金属膜片,大幅减少了微粒的产生。
    ・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
(加压开・弹簧密封)
氮气、空气、
惰性气体等
VCR®
Swagelok®
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