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冷凍式サーモクーラ HRG

エコノミータイプチラー (三相電源)

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRG	5～35℃	1～15kW	±1.0℃／ ±0.5℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン水 (純水) エチレングリコール水溶液
特長	空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。レーザ加工機／分析装置／LCD製造装置／金型温調など幅広い用途に実績多数。

サーモチラー HRS

コンパクトタイプ

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS	5～40℃	1300W 1900W 2400W	±0.1℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水エチレングリコール水溶液
		5100W		空冷冷凍式
特長	空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。レーザ加工機／分析装置／LCD製造装置／金型温調など幅広い用途に実績多数。コンパクトW377×H615×D500、40kg タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。自己診断機能。海外輸出用装置に最適（単相AC200～230V、単相AC100V,115V） CEマーキング、ULに適合。

冷凍式サーモチラー HRZ

高機能チラー

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZ	-20～40℃	1～15kW	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液清水脱イオン水 (純水) エチレングリコール水溶液
	20～90℃
	-20～90℃
特長	高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。各種安全規格に対応。 UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

冷凍式サーモチラー HRZ

高機能チラー (インバータ搭載)

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZ	-20～90℃	1.8～10kW	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液清水脱イオン水 (純水) エチレングリコール水溶液
特長	HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギを達成。広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に対応可能。 UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

冷凍式デュアルサーモチラー HRZD

(ダブルインバータタイプ)

シリーズ/CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZD	-30～90℃	9.5kW×2	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液
特長	1台のチラーで2系統を個別に温調可能。ダブルインバータ：DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。省スペース：設置面積23％削減。省配線・省配管・省工数：電源ケーブル1本、放熱水配管は1系統。 CE

水冷却式サーモチラー HRW

高機能チラー (水冷却式)

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRW	20～90℃	2～30kW	±0.3℃	水冷却式	フッ素化液清水脱イオン水 (純水) エチレングリコール水溶液
特長	工場内循環水との直接熱交換器。冷凍機が要らない温度範囲での温調用。高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。 UL, SEMI規格適合、CEマーキング。インバータタイプの選択可能。

ペルチェ式サーモコン HEC

高精度チラー

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HEC	10～60℃	230W	±0.01～ 0.03℃	ペルチェ式空冷	清水
HEC	10～60℃	140、320、 600、1200W	±0.01～ 0.03℃	ペルチェ式水冷	清水フッ素化液
特長	高精度温調が必要な用途に。ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。シンプルな構造で高信頼性。小型、低振動で装置内への組込みが容易。ワイドな電源電圧に対応可。 UL規格適合、CEマーキング。

ペルチェ式サーモ恒温槽 HEB

高精度恒温槽

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HEB	-15～60℃	140W	±0.1℃	ペルチェ式水冷	清水フッ素化液
特長	ペルチェ素子を使った、高精度温調恒温槽。小型、低騒音。独自の撹拌方式により上下温度分布が小さい。

ペルチェ式ケミカルサーモコン HED

薬液用フッ素樹脂温調機

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HED	10～60℃	300～750W	±0.1℃	ペルチェ式水冷	脱イオン水 (純水) 薬液
特長	ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。 UL規格適合、CEマーキング。

ペルチェ式エアサーモ HEA

シリーズ/ CAD	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	適用流体
HEA	0～50℃	22W	±0.1℃	ペルチェ式空冷	空気
特長	ペルチェ素子を使った高精度、小型、温調機。局部的な温調や小容量の温調に対応。

サーモドライヤ　空気温度調節機能付 IDH□

シリーズ	処理空気量 m³/h (ANR)	出口空気温度設定範囲	出口空気設定圧力範囲	出口空気温度安定性	冷却方式
IDH□4	100～500	15～30℃	0.15～0.85MPa	±0.1	ヒータ加熱 PID制御
IDH□6	200～800
特長	温調・調圧されたドライクリーンエアを安定供給。季節を問わずに同じ条件・質の圧縮空気を供給可能。アプリケーション例工作機械のエアベアリング等で一定条件の圧縮空気供給など。フィルタ内蔵フィルタろ過度：0.01μm (99.9％捕集効率) 出口側オイルミスト濃度：MAX.0.01mg/m³ (ANR) 出口側清浄度：0.3μm以上の粒子が3.5個/L (ANR) 以下電源はワールドワイドに対応単相AC100V,200V,230V (50/60Hz)

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