0.07 0.06 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 最低使用圧力　MPa 1 10 100 1000 大きい 摺動 抵抗 小さい 使用ピストン速度　mm/s .標準シリンダ 低速作動 低圧作動 .低速シリンダ（新型） 　　　　（例.CM2X-Z） .スムースシリンダ（例.CM2Y-Z） 固着低減 ・幅広い使用速度範囲 ・低摩擦による最低使用圧力の低減 従来の低速シリンダからの置換可能 .低速シリンダ （従来品：-XB9, XB13） スムースシリンダ・低速シリンダ ◎：非常に優れている　○：優れている　△：使用可　×：使用上注意してください 機能.スムースシリンダ.低速シリンダ （新型） .低速シリンダ （従来品：-XB9, XB13） .標準無給油 シリンダ .低圧作動◎ CUX10：× その他 ：◎ △ △ .低速作動○ ◎ ○ △ .固着低減○ ◎ ○ △ .飛出低減○ ◎ ○ △ .押圧制御◎ CUX10：× その他 ：◎ ○ △ .低摺動◎ ◎ ○ △ . スムースシリンダ ■低速作動（5mm/s.） ■低圧作動 ■両側加圧 ・押圧コントロール ・巻き取り機械等のバランスコントロール ・汎用の低速作動のアプリケーション ・テンションコントロール . 低速シリンダ（従来品：-XB9, XB13） ■低速作動 . 低速シリンダ（新型） ■低速作動（0.5mm/s.） ■低圧作動 ■両側加圧 ■固着低減対応 ・横荷重の加わらない負荷の搬送（軽量トレイ等） ・固着を低減したい搬送（ウエハー搬送等） ・精度の厳しい押圧コントロール . 標準無給油シリンダ ■汎用用途 前付1