6 平行開閉形エアチャック／3爪：単動形 MHS3-X84 5 CC 33° 54° o4 Y 3 5 20° 20°20° オートスイッチ取付用溝位置 20° 軸方向配管に変更した場合 プラグ：六角対辺7 M5×0.8 フィンガ閉ポート プラグ：六角対辺7 3×UA ねじ深さUB P.C.D. R（取付用ねじ） 3×oSA通し SB深座ぐり深さSC P.C.D. R（取付用穴） 6×M3×0.5 ねじ深さ6 （アタッチメント取付用ねじ） NA 6h9（　0　　 −0.030） （開時DO） （閉時DC） Q O J 2H9（＋0.025 K 　0 ） 開時EO 閉時EC AB AA （3） oB 2 5 G M5×0.8 フィンガ閉ポート 3.5 CB CA 呼吸穴 o20H9（＋0.052 　0 ） 外形寸法図 MHS3-20S・25S-X84／単動形：常時開形 (mm) 機種AA AB B CA CB CC DC DO EC EO G J K MHS3-20S-X84 55 52 36 24 13 2.2 18 20 6 8 44 12 5 MHS3-25S-X84 60 57 42 27 15 2 21 24 7 10 48 14 6 機種NA O Q R SA SB SC UA UB Y MHS3-20S-X84 10 2.5 7 29 3.3 6.5 9.5 M4×0.7 8 6 MHS3-25S-X84 12 3 8 34 4.2 8 10 M5×0.8 10 6.5