1 10 100 1,000 10,000 100,000 1,000,000 10,000,000 100,000,000 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒径［μm］ 粒子濃度［個/m3］ 1 10 100 1,000 10,000 100,000 1,000,000 10,000,000 100,000,000 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒径［μm］ 粒子濃度［個/m3］ 1 10 100 1,000 10,000 100,000 1,000,000 10,000,000 100,000,000 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒径［μm］ 粒子濃度［個/m3］ 1 10 100 1,000 10,000 100,000 1,000,000 10,000,000 100,000,000 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 粒径［μm］ 粒子濃度［個/m3］ ISOクラス8（クラス100000） 0L/min（ANR） 20L/min（ANR） 30L/min（ANR） ISOクラス7（クラス10000） ISOクラス6（クラス1000） ISOクラス4（クラス10） ISOクラス5（クラス100） ISOクラス8（クラス100000） 0L/min（ANR） 50L/min（ANR） 70L/min（ANR） ISOクラス7（クラス10000） ISOクラス6（クラス1000） ISOクラス4（クラス10） ISOクラス5（クラス100） ISOクラス8（クラス100000） 0L/min（ANR） 30L/min（ANR） 50L/min（ANR） ISOクラス7（クラス10000） ISOクラス6（クラス1000） ISOクラス4（クラス10） ISOクラス5（クラス100） ISOクラス8（クラス100000） 0L/min（ANR） 50L/min（ANR） 90L/min（ANR） ISOクラス7（クラス10000） ISOクラス6（クラス1000） ISOクラス4（クラス10） ISOクラス5（クラス100） クリーン仕様 発塵特性 11-LEJS40／ボールねじ駆動 速度600mm/s 速度1,200mm/s 速度600mm/s 速度1,200mm/s 11-LEJS63／ボールねじ駆動 2 電動アクチュエータ／高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 11-LEJS Series